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프로덕트 하이퍼썸, Powermax SYNC 공기 플라즈마 시스템 3종 출시

헬로티 이동재 기자 | 하이퍼썸이 새로운 Powermax SYNC 공기 플라즈마 시스템 3종을 출시했다. 하이퍼썸은 미국계 산업용 절단 시스템 및 소프트웨어 제조업체다. 새롭게 출시된 차세대 Powermax65/85/105 시스템은 내장형 인텔리전스와 일체형 카트리지 소모품이 탑재됐다. Powermax SYNC와 SmartSYNC 토치는 기존의 5단 소모품 스택업을 컬러 코딩된 일체형 카트리지로 대체했다. 각 카트리지에 적용된 기술이 정확한 암페어 수, 공기 압력, 작동 모드를 자동으로 설정해, 새 카트리지가 필요한 경우 이를 작업자에게 알린다. SmartSYNC 토치 컨트롤은 작업자가 전원공급장치에 가지 않고도 암페어수를 조절하고 카트리지를 교환하도록 해준다. 카트리지가 일체형으로 생산돼, 시스템 내에 모든 것이 완벽하게 정렬되고 최적화돼 있다. Powermax 시스템용 Hypertherm 카트리지는 기존 소모품에 비해 수명이 최대 2배 더 길며, 한층 더 깔끔하게 절단한다. 또한, 카트리지는 스타트, 아크온 시간과 같은 데이터를 추적해 추세를 파악하고 더욱 효율적인 작업을 가능케 한다. 에릭 브린 하이퍼썸 Powermax 팀매니저는 “Powermax SY

이동재 기자

2021-11-18 17:23

일반뉴스 반도체 플라즈마 실시간 측정할 수 있는 센서 세계 최초 개발

[헬로티] 한국표준과학연구원(KRISS)이 반도체·디스플레이 공정에 사용되는 플라즈마 양을 실시간으로 측정할 수 있는 센서를 세계 최초로 개발했다고 밝혔다. 가동 장비를 멈추지 않고도 사용할 수 있기에 반도체·디스플레이 장비 성능평가 및 제품 수율 향상에 도움이 될 것으로 기대된다. 이번 기술은 한국 원천 특허 등록을 기반으로 미국·유럽·중국·일본 등 4개국 특허 출원이 완료됐다. KRISS 연구팀은 기기에 센서가 내장된 ‘지능형 식각공정 장비’ 개발을 추진할 예정이며, 외산에 독점화된 반도체 장비 시장에서 기술혁신을 이룰 것으로 전망된다. 반도체 소자의 저전력화, 선폭 초미세화, 3차원 구조화에 따라 반도체 플라즈마 공정의 난도가 높아지고 있다. 플라즈마 공정은 반도체 회로 패턴 가운데 필요한 부분만 남기고 불필요한 부분은 깎아내는 작업인 식각 공정에 사용된다. 식각 공정의 안정성은 반도체 생산성·수익성의 척도인 수율로 이어진다. 잘못된 식각 공정으로 회로 부분이 끊기거나 균일하지 않으면 생산된 반도체 칩에 오류가 생기고 원하는 동작을 수행할 수 없다. 지금까지는 공정 중 웨이퍼 영역의 플라즈마 변수를 직접 측정할 수 있는 센서가 없었다. 해외에서 독점적으

함수미 기자

2021-06-03 10:08